針對金剛線直接添加劑法制備的金剛線多晶硅片絨面、反射率及減重與常規砂漿線多晶硅片的制絨差異，本文分析了其對擴散、PECVD和絲網印刷等工藝造成的影響，并就如何匹配各道工藝進行了總結，從而獲得高效金剛線多晶電池。

金剛線直接添加劑法雖然可以部分解決金剛線多晶硅片由于表面損傷層淺導致的常規酸制絨帶來的反射率高問題，但由于金剛線多晶硅片晶向不同，使得制絨均勻性差、反射率比砂漿線高2%左右，電池轉換效率會比砂漿線多晶電池低0.1%左右。目前的市場行情是組件客戶需求的太陽能電池發貨效率越來越高，因此提高金剛線直接添加劑法的轉換效率迫在眉睫。除了依賴添加劑廠家開發更高效的金剛線制絨添加劑，優化擴散、刻蝕、PECVD及絲印等后道工藝也是提高金剛線添加劑制備的電池效率重要途徑。因此，針對我們對金剛線直接添加劑實驗及量產經驗，我對擴散、PECVD及絲網印刷等后道工藝如何更好匹配金剛線添加劑進行了如下總結。

一、關于擴散

一般來說，砂漿線多晶硅片擴散方阻會稍低于金剛線添加劑法制備的金剛線多晶硅片，主要是由于后者片制絨后反射率高2-4%左右，使得比表面積較小且不同晶粒均勻性差所致。當然，由于金剛多晶硅片反射率越高，比表面積越小，因此方阻也會越高。值得我們注意的是，由于金剛線多晶硅片內部不同晶粒晶向差異及表面損傷層淺，使得金剛線多晶硅片制絨后呈現亮暗晶格。一般來說，亮晶格的擴散方阻比暗晶格稍低，可能是由于比表面積或不同晶格的絨面差異導致，當然也不排除四探針測試誤差所致。金剛線直接添加劑法制備的絨面比砂漿線硅片絨面小且深，同時亮暗晶格絨面分布極不均勻，因此其方阻均勻性較差，導致擴散方阻的工藝窗口比砂漿線窄，否則極易影響電池的電性能。因此，需十分注意絲網印刷與擴散方阻的匹配，并善于分析造成電性能參數異常的原因等，從而更好的維持產線穩定。

不同供應商的金剛線添加劑制絨后的絨面、反射率及減重都有差異，需要根據不同絨面及反射率特性調整擴散方阻。一般絨面小及反射率偏低時均勻性較差，此時方阻不宜過低，否則可能會導致表面復合嚴重，影響Uoc和Isc;有時甚至需要適當提高反射率或增大絨面，從而更好的匹配后道工藝，獲得最佳轉換效率。當然擴散方阻也不宜過高，否則由于金剛線多晶硅片的亮暗晶格均勻性較差，易造成Rs偏高。

總之，需要根據金剛線添加劑制絨后的絨面、反射率及減重等對電池電性能的影響，合理優化擴散方阻，才能得到最優的電池轉換效率。

二、關于PECVD

金剛線多晶硅片由于其特殊的二維切割方式，表面損傷層淺、線痕較深，金剛添加劑難以有效去除表面的線痕、降低反射率，因此外觀與常規砂漿線電池差異較大。金剛線添加劑法制備的電池外觀偏亮、晶格明顯，各道的工藝窗口都小于砂漿線，尤其鍍膜后的顏色波動較大，產線返工率及管控難度都高于砂漿線。而組件等下游客戶一直都在提高其對電池顏色及外觀的要求，因此有必要研究金剛線添加劑與常規砂漿線鍍膜產生差異的原因，并合理優化PECVD鍍膜工藝。

利用金剛線添加劑制備的不同反射率硅片與砂漿線進行系統的PECVD對照實驗，并根據太陽能電池的減反射膜原理，本人構思了一種PECVD第一二層減反射膜厚度的計算方法，具體公式為：平均膜厚*平均折射率=第一層折射率*第一層膜厚X+第二層折射率*第二層膜厚(平均膜厚-X)，其中X為第一層減反射膜(靠近硅片的底層減反射膜)厚度，單位nm;硅片的平均膜厚和平均折射率可以利用橢偏儀進行測試，第一二層膜理論折射率分別假設為2.35、2.0。下表是同條件下，不同反射率的金剛線添加劑和砂漿線實驗硅片鍍膜后的平均膜厚及折射率、第一二層膜厚計算結果。由表可知不同反射率的金剛線硅片與砂漿線硅片的鍍膜膜厚和折射率差異較大，而且隨著反射率升高，第一層膜越來越厚、第二層膜越來越薄，整體折射率越高，那么造成此現象的原因是什么呢?

不同反射率金剛線及砂漿線多晶硅片的絨面如下圖所示，由圖可知制絨后的反射率越高，絨面出絨率越少，表面越"光滑"。根據減反射膜沉積原理，反射率高時鍍膜沉積時所需活化能更少，沉積速度越快，因此第一層膜更厚，這也可能是導致反射率高的硅片鍍膜后折射率高的主要原因。砂漿線多晶硅片制絨后的絨面雖然比金剛線多晶硅片大，但反射率更低，導致第一層鍍膜速度更慢，從而整體膜厚和折射率都偏低。根據以上結論，金剛線多晶硅片第一層鍍膜速度過快，可能會導致膜層質量及顏色均勻性等較差，影響整體電性能及鍍膜返工等。因此，需對PECVD鍍膜工藝進行優化，適當降低第一層鍍膜速度，合理匹配減反射膜的膜厚及折射率，從而獲得較高的轉換效率和更好的量產穩定性。

三、關于絲網印刷及燒結

金剛線多晶硅片粗線痕、淺損傷層不僅影響PECVD減反射膜的顏色等，還會增加絲網印刷的難度。金剛線直接添加劑法由于減重較低，難以有效去除硅片表面的切割線痕，因此印刷時需注意線痕與細柵的方向。實驗發現，金剛線硅片表面的線痕與細柵線垂直印刷時效率會高0.05%左右，但是容易出細柵線高低不平、斷柵等現象。而線痕與細柵線平行印刷效率相對偏低，但是印刷質量有保障，雖然偶爾也會出現虛印甚至波浪紋等。同時，由于金剛線多晶硅片表面光滑及不同亮暗晶格絨面差異非常大，容易導致三道的印刷濕重偏低、Rs異常等，需要根據情況調整印刷速度、壓力等參數。金剛線多晶硅片不論是利用直接添加劑法制絨，還是干/濕法黑硅制絨，其絨面都是亞微米、甚至納米級，正電極印刷后易出現拉力不合格、漿料與硅片歐姆接觸不好等情況，目前許多漿料廠家都針對此現象改進了正銀漿料，但還需引起關注。

四、總結

金剛線添加劑制絨后的絨面、減重和反射率與砂漿線多晶硅片差異較大，因此擴散、PECVD及絲印燒結等后道工藝都需進行針對性的優化和匹配，才能得到最佳的金剛線多晶電池的轉換效率。本文就金剛線添加劑實驗及量產過程中的相關經驗進行了總結與分析，希望得到業界同仁的批評與指正。